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VRTP-Kammern
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Beschreibung
VRTP-Kammern
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei Vakuumprozesskammern für thermische Behandlungen.
- Kammern müssen Wafer bis 200 mm bzw. 150 mm verarbeiten und CMOS-Standards sowie unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen.
- Installation erfolgt in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 am Standort Dresden.
- Angebote können als eine Anlage mit zwei Kammern oder als zwei Einzelanlagen erfolgen.
Gesucht werden zwei neue Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben bis 1200°C, die für die mikro-/nanoelektronische Bauteilfertigung und CMOS-Standards geeignet sind.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
- Keine Barrierefreiheits-Anforderungen
EU Richtlinien
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
-
Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
2 Veröffentlichungen
- Frist 13.08.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- Frist 12.08.2025 Original-Veröffentlichung
-
Vergabeergebnis
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Preiseinschätzung
Basierend auf 33 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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