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VRTP-Kammern
NaMLab gGmbH · Dresden · Sachsen · Nachgeordnete Behörde
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Die beabsichtigte Beauftragung umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei neuen nicht gebrauchten Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben unter unterschiedlichen Gas-Atmosphären und im Vakuum mit sehr steilen Aufheizrampen bis 1200°C und Abkühlrampen (engl. VRTP). Die beiden Kammern können als eine Anlage mit zwei Prozesskammern oder als zwei Einzelanlagen mit jeweils einer Kammer angeboten werden, die die sehr steilen Aufheiz- und Abkühlrampen ausführen können. Die Maschinen werden für die thermische Bearbeitung von dünnen Schichten und die Prozessierung von mikro-/nanoelektronischen Bauteilen eingesetzt. Sie müssen mit CMOS-Standards kompatibel sein. Eine Kammer soll Wafer mit einem Durchmesser bis 200 mm prozessieren können. Die zweite Kammer soll Wafer und Proben bis zu einer Größe von mindestens 150 mm prozessieren können. Die Prozessierung muss so erfolgen können, dass die beiden Kammern unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen. Die Anlage(n) soll im Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) des Auftraggebers im ersten Stock seines Gebäudes in der Nöthnitzer Straße 64a, in 01187 Dresden stehen und muss die Anforderungen an diesen Reinraum insbe¬sondere die Partikelfreiheit und die noch verfügbaren Flächen dieses Reinraumes erfüllen.
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von zwei Vakuumprozesskammern für thermische Behandlungen.
- Kammern müssen Wafer bis 200 mm bzw. 150 mm verarbeiten und CMOS-Standards sowie unterschiedliche Kontaminationsklassen erfüllen.
- Installation erfolgt in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 am Standort Dresden.
- Angebote können als eine Anlage mit zwei Kammern oder als zwei Einzelanlagen erfolgen.
Gesucht werden zwei neue Vakuumprozesskammern zur thermischen Behandlung von Wafern und Proben bis 1200°C, die für die mikro-/nanoelektronische Bauteilfertigung und CMOS-Standards geeignet sind.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: automatisiert erstellt (Google Gemini) — ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen. Mehr ▾
Diese Kurzanalyse ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung und keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
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Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung
- Keine Barrierefreiheits-Anforderungen
EU Richtlinien
Anforderungen an Bieter (Eignung)
Was Sie zur Teilnahme nachweisen müssen — wie vom Auftraggeber gefordert.
Befähigung zur Berufsausübung
-
Eintragung Handelsregister
Handelsregisterauszug oder vergleichbares Dokument muss vorgelegt werden.
Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit
-
Berufshaftpflichtversicherung
Eigenerklärung muss unterschrieben werden.
-
Finanzkennzahlen (Bilanz)
Eigenerklärung zum Umsatz mit vergleichbaren Produkten zur Ausschreibung.
Technische & berufliche Leistungsfähigkeit
-
Referenzen (vergleichbare Lieferungen)
Eigenerklärung zu schon ausgelieferten vergleichbaren Produkten zur Ausstattung
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Solche Anforderungen kommen wieder
Hier wurden Nachweise zu Befähigung zur Berufsausübung, Wirtschaftliche & finanzielle Leistungsfähigkeit, Technische & berufliche Leistungsfähigkeit verlangt. Für diese Ausschreibung ist die Frist vorbei — mit einem kostenlosen Suchprofil bekommen Sie vergleichbare Ausschreibungen am Tag der Veröffentlichung per E-Mail, statt sie Wochen später über eine Suchmaschine zu finden.
Mit der Anmeldung akzeptieren Sie unsere AGB und bestätigen, die Datenschutzerklärung zur Kenntnis genommen zu haben. AusschreibungsRadar richtet sich ausschließlich an Unternehmer im Sinne von § 14 BGB.
Vergabe- & Vertragsbedingungen
Wichtige Bedingungen für Angebot und Ausführung — wie vom Auftraggeber bekannt gemacht.
-
Nachforderung fehlender Unterlagen möglich
Der Auftraggeber darf fehlende, unvollständige oder fehlerhafte Unterlagen nachfordern (§ 56 VgV).
- Elektronische Rechnung (eRechnung) zugelassen
-
EU-gefördertes Vorhaben
eu-funds
Quelle: Bekanntmachung (eForms). Maßgeblich sind die vollständigen Vergabeunterlagen.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
-
Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
2 Veröffentlichungen
- Frist 13.08.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- Frist 12.08.2025 Original-Veröffentlichung
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Wertung
Angebote werden geprüft
-
Vergabeergebnis
Vergabeergebnis liegt uns nicht vor — beim Auftraggeber direkt erfragen
Preiseinschätzung
Basierend auf 37 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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