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Ion Mill chamber with central handling system and 2 PVD chambers (ENAS-01.1) - PR880932-3340-P
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · München · Bayern
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Beschreibung
Ion Mill chamber with central handling system and 2 PVD chambers (ENAS-01.1)
KI-Eignungsanalyse
KI-generiertBranche: Gesundheitswesen & Medizintechnik
Das Wichtigste auf einen Blick
- Beschaffung einer Waferbearbeitungsanlage mit Ionenstrahlätz- und PVD-Kammer für 200 mm Wafer.
- Anforderungen umfassen Strukturierung von magnetischen Multischichtstapeln (GMR, TMR) und Abscheidung von SiN-Passivierung sowie Edelmetallelektroden.
- Die Ionenstrahlätz-Kammer muss mit einem Optischen Emissionsspektrometer (OES) zur Endpunkterkennung ausgestattet sein.
- Optionale Merkmale beinhalten Ersatzteile für Kammerreinigung und die Bearbeitung von Quarzsubstraten.
- Es handelt sich um ein nicht offenes Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb.
Beschaffung einer Waferbearbeitungsanlage mit Ionenstrahlätz- und PVD-Kammer für die Strukturierung und Abscheidung auf 200 mm Wafern.
Hinweis nach EU AI Act Art. 50: Diese Kurzanalyse wurde automatisiert von einem KI-Modell (Google Gemini) erstellt und ist ausschließlich ein Hilfsmittel zur schnellen Orientierung. Sie ersetzt keine Prüfung der Original-Vergabeunterlagen und ist keine Eignungs- oder Rechtsberatung. Die verbindlichen Angaben entnehmen Sie bitte der Original-Bekanntmachung (oeffentlichevergabe.de). Details zu unserer KI-Nutzung: KI-Transparenz.
Zuschlagskriterien
Wonach der Auftraggeber das wirtschaftlichste Angebot ermittelt.
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Technische Ausführung 45 %Qualität
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Preis 35 %
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Lieferfrist 10 %Qualität
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Nachhaltigkeit 10 %Qualität
Quelle: Bekanntmachung (eForms) — Gewichtung wie vom Auftraggeber veröffentlicht.
Verfahrensverlauf
📅 .icsVollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.
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Ausschreibung Sie sind hier
Angebote werden eingeholt
2 Veröffentlichungen
- Frist 22.04.2025 Original-Veröffentlichung aktuell
- 24.03.2025 Original-Veröffentlichung
-
Vergabeergebnis
Auftrag wurde zugeschlagen · 94 Tage nach Fristende
Auftragnehmer scia Systems GmbH1 Veröffentlichung
Preiseinschätzung
Basierend auf 37 vergleichbaren Vergabeergebnissen:
Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.
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