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Ion Mill chamber with central handling system and 2 PVD chambers (ENAS-01.1) - PR880932-3340-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

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Vergabe-Ergebnis

🏆 Auftragnehmer scia Systems GmbH
👥 Eingegangene Angebote 1

Hinweis: Nicht alle Kerndaten wurden publiziert — die Vergabestelle hat diese Bekanntmachung ohne Vertragswert veröffentlicht.

Beschreibung

1x Waferbearbeitungs-Anlage mit zentralem Handlingsystem, 1 Kammer für Ionenstrahlätzen und 1 PVD -Kammer zur in-situ-Passievierung und Elektrodenabscheidung beschafft. Die Anlage soll 200 mm Wafer bearbeiten. Die Ionenstrahlätzkammer muss für die Strukturierung von magnetischen Multischichtstapeln (GMR, TMR) geeignet sein. Weiterhin muss diese Kammer mit einem Optischen Emissionsspektrometer (OES) ausgerüstet sein für die Endpunkterkennung. Die PVD-Kammer wird für Abscheidung von SiN-Passivierungsschichten auf den GMR/TME-Strukturen direkt nach der Strukturierung ohne Vakuumunterbrechung und zur Abscheidung von Elektrodensystemen aus Edelmetallen verwendet. Optionale Merkmale: - Ersatzsatz von Kammerinnenteilen (Abschirmungen / Shutter), die aufgrund von Beschichtung / Partikelgenerierung zu reinigen sind: Auflistung der benötigten Teile pro Prozesskammer; Angabe der Sätze pro Kammer als Einzelpositionen im Angebot - weitere Substratmaterialien: wenn möglich auch Quartz

Weitere Pflichtangaben aus der Bekanntmachung

KMU-Anteil der Bieter

1 von 1 Angeboten kamen von kleinen oder mittleren Unternehmen (100 %)

Quelle: eForms-Pflichtangaben der Vergabestelle, erfasst über die Original-Bekanntmachung (TED EU). Die Angaben werden von der Vergabestelle selbst ausgefüllt — wir prüfen sie nicht auf Richtigkeit.

Verfahrensverlauf

📅 .ics

Vollständige Historie dieses Vergabeverfahrens — alle Phasen und Veröffentlichungen.

  1. Ausschreibung oev

    Angebote werden eingeholt

    2 Veröffentlichungen

  2. Vergabeergebnis Sie sind hier oev

    Auftrag wurde zugeschlagen · 94 Tage nach Fristende

    Auftragnehmer scia Systems GmbH

    1 Veröffentlichung

    • 25.07.2025 Original-Veröffentlichung · in TED EU + oev aktuell

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Preiseinschätzung

Basierend auf 37 vergleichbaren Vergabeergebnissen:

Unteres Quartil 299.976 €
Median 391.115 €
Oberes Quartil 1.096.244 €

Statistische Auswertung öffentlicher Zuschlagswerte. Keine Preisempfehlung.

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Quelle: TED EU

Diese Bekanntmachung stammt aus der EU-Datenbank Tenders Electronic Daily. Reduzierter Datenumfang (Titel, Auftraggeber, CPV, Frist). Für vollständige Dokumente und alle Sprachen:

Ansicht ted.europa.eu → PDF ↓

Diese Vergabe ist abgeschlossen. Aktuelle, noch offene Ausschreibungen in dieser Branche:

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Vergabestelle

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

✉ einkauf@zv.fraunhofer.de
☎ +49891205-0

Website →

Stammdaten
Vergabenummer PR880932-3340-P
Verfahrensart Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
Auftragsart Lieferauftrag
Schwierigkeit Mittel
Auftraggeber Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Veröffentlicht 25.07.2025
CPV-Code 31712100
Elektrische Ausrüstung (Was ist das?)
Angebote 1
⚠ dünner Wettbewerb (Ø 3,2 in der Branche) (?)
Erfüllungsort Chemnitz
Laufzeit 14 Monate
Bieterkommunikation ansehen Fragen & Antworten zum Verfahren im Vergabeportal (TED EU) · ggf. archiviert
Auftragnehmer (?)
scia Systems GmbH
Ø Bieter in der Branche 3.2

Historischer Durchschnitt aus 35.184 vergleichbaren Vergaben — keine Prognose für diese Ausschreibung.

Erfasste Abschluss-Meldungen 83%

Anteil der erfassten Verfahren in Gesundheitswesen & Medizintechnik mit veröffentlichter Zuschlag-Bekanntmachung. Basis: 16.358 Verfahren. Die tatsächliche Zuschlagsquote liegt typischerweise höher, weil viele Vergabestellen Ergebnisse verspätet oder gar nicht melden.

Markt-Insights

Ø Zuschlagsdauer 21 Tage
Schätzwert-Abweichung -5%
KMU-Bieteranteil 21%
Preis-Kalkulator

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Vollständige Daten

Quelle: TED EU · 5/5 Kernfelder

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